跟蹤精度方面，截至2025年6月9日，科創AIETF今年以來跟蹤誤差為0.406%，在可比基金中跟蹤精度較高。
數據顯示，截至2025年5月30日，上證科創板人工智能指數(950180)前十大權重股分別為瀾起科技(688008)、寒武紀(688256)、金山辦公(688111)、石頭科技(688169)、芯原股份(688521)、恒玄科技(688608)、晶晨股份(688099)、復旦微電(688385)、中科星圖(688568)、樂鑫科技(688018)，前十大權重股合計占比70.6%。
（文中個股僅作示例，不構成實際投資建議。基金有風險，投資需謹慎。）
科創AIETF(588790)，場外聯接(博時上證科創板人工智能ETF發起式聯接A：023520；博時上證科創板人工智能ETF發起式聯接C：023521；博時上證科創板人工智能ETF發起式聯接E：023989)。